小面積上涂層厚度的測量是個頭疼的問題，怎么選擇小面積涂層測厚儀呢？

我們先了解一下關于涂層厚度測量的基本知識，再逐步分析小面積上的涂層厚度的測量方式。涂層也叫覆層，涂層覆層厚度的測量方法主要有：楔切法，光截法，電解法，厚度差測量法，稱重法，X射線熒光法，β射線反向散射法，電容法、磁性測量法及渦流測量法等。這些方法中前五種是有損檢測，測量手段繁瑣，速度慢，多適用于抽樣檢驗。生產中磁性法和渦流法是常用的涂層厚度測量方式，估計要占到95%以上。

X射線和β射線法是無接觸無損測量，但裝置復雜昂貴，測量范圍較小。因有放射源，使用者必須遵守射線防護規范。X射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量。電容法僅在薄導電體的絕緣覆層測厚時采用。

申明一下，我司（無錫君達儀器）所知道的知識也是有限的，太深奧的關于涂層厚度的測量機理也不懂，我們只是就自己掌握的東西和大家交流。文章謝絕復制和轉摘！

測量涂層厚度采用磁感應原理時，利用從測頭經過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小，來測定覆層厚度。也可以測定與之對應的磁阻的大小，來表示其覆層厚度。覆層越厚，則磁阻越大，磁通越小。

測量涂層厚度采用電渦流原理時，高頻交流信號在測頭線圈中產生電磁場，測頭靠近導體時，就在其中形成渦流。測頭離導電基體愈近，則渦流愈大，反射阻抗也愈大。這個反饋作用量表征了測頭與導電基體之間距離的大小，也就是導電基體上非導電覆層厚度的大小。

在涂層厚度的實際測量中，影響測量數據的度的因素有很多，比如邊緣效應，表面粗糙度以及變形基體的磁性能電性能等。

這里講到了邊緣效應，就關乎小面積上涂層厚度的測量了。當工件面積很小，比如直徑小于5毫米，那么無論是磁感應還是電渦流涂層厚度測量原理，傳感器所發出的磁場或電渦流，作用在基體上后，電磁場將會是不規則的，這就給主機的計算帶來的困難，具體表現為無顯示，或即使有顯示，測試涂層厚度數據和真實涂層厚度數據差異很大。

用戶如果自己的產品面積很小，用普通的測厚儀是無法測量的，常規的涂層測厚儀要求工件面積直徑10mm以上。因為小面積的涂層厚度的測量要求高同時市場需求很小，這就給涂層測厚儀的研發帶來了效益上的考慮。目前，國內的小面積涂層厚度測量還是個薄弱環節，雖然標稱zui小可測5毫米，但效果差強人意。國外（德國）的有測到磁性3毫米渦流2毫米的，使用起來還可以。國內的如TT260配F400探頭和CNO2探頭，探頭和主機需要較真（用戶不要動手?。﹪獾?/span>EPK的1100配N02探頭和F05探頭。具體的還需要進一步交流。

同時，正因為小面積的涂層厚度的測量基本已經達到本身小面積涂層厚度測量的極限，所以，在小面積的涂層厚度的實際測試時，涂層厚度的測試精度，客戶不要太較真。

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